微区成分分析是指在样品表面线度约1微米的面积内进行成分分析的技术。分析结果反映由微小面积和取样深度决定的有效探测体积内的平均成分和含量，是定性半定量分析。对样品表面扫描即可探测成分的面分布及相应的表面形貌。

图1 富Cr区成分


图2 贫Cr区成分


图3 腐蚀沟槽成分